搭載采用了冷卻檢測方式的流量傳感器
-
通過采用數(shù)字回路,實(shí)現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)。
-
可以進(jìn)行低沸點(diǎn)液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
名稱
|
質(zhì)量流量計(jì)
|
型號(hào)
|
LF-F20M-A
|
LF-F30M-A
|
LF-F40M-A
|
LF-F50M-A
|
LF-F60M-A
|
全標(biāo)度流量(g/min)
|
0.02/0.05/0.1
|
0.2/0.5
|
1/2/5
|
10/20
|
50/100
|
檢測控制范圍
|
5?100% F.S.
|
對(duì)象液體種類 *1
|
可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
|
液體粘度 *2
|
最大值. 0.1 Pa·s (100cp)
|
精度 *3
|
±1% F.S.
|
直線性 *3
|
±0.5% F.S.
|
重復(fù)性 *3
|
±0.5% F.S.
|
響應(yīng)精度
|
3秒以內(nèi) (T98)
|
2秒以內(nèi) (T98)
|
使用環(huán)境溫度 *4
|
5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)
|
溫度影響 Span
|
±0.1%F.S./℃ 最大值±1%
|
工作差壓值值 *5
|
最大值. 5MPa (視為流量計(jì)) / 50?300kPa (with piezo 控制閥)
|
耐壓
|
10MPa (視為流量計(jì))
|
壓力損失
|
最大值. 500Pa
|
流量設(shè)定信號(hào)
|
模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)
|
流量輸出信號(hào)
|
模擬:0?5 VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)
|
驅(qū)動(dòng)電源
|
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
|
外部泄漏規(guī)格
|
5×10-12Pa·m3/s (He)
|
接液部材質(zhì)
|
SUS316L, Ni
|
標(biāo)準(zhǔn)接頭
|
1/16” , 1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型
|
1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型
|
1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型
|
名稱
|
質(zhì)量流量控制器
|
型號(hào)
|
LV-F20 (PO/MO)
|
LV-F30 (PO/MO)
|
LV-F40 (PO/MO)
|
LV-F50 (PO/MO)
|
LV-F60 (PO/MO)
|
全標(biāo)度流量(g/min)
|
0.02/0.05/0.1
|
0.2/0.5
|
1/2/5
|
10/20
|
50/100
|
檢測控制范圍
|
5?100% F.S.
|
對(duì)象液體種類 *1
|
可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
|
液體粘度 *2
|
最大值. 0.01 Pa·s (10cp)
|
精度 *3
|
±1% F.S.
|
直線性 *3
|
±0.5% F.S.
|
重復(fù)性 *3
|
±0.5% F.S.
|
響應(yīng)精度
|
3秒以內(nèi) (T98)
|
2秒以內(nèi) (T98)
|
使用環(huán)境溫度 *4
|
5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)
|
溫度影響Span
|
±0.1%F.S./℃ 最大值±1%
|
工作差壓值 *5
|
0.05?0.3MPa
|
耐壓
|
1MPa
|
壓力損失
|
ー
|
流量設(shè)定信號(hào)
|
模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)
|
流量輸出信號(hào)
|
模擬:0?5 VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)
|
驅(qū)動(dòng)電源
|
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
|
外部泄漏規(guī)格
|
PO 類型:1×10-8Pa•m3/s (He) MO 類型: 5×10-12Pa•m3/s (He)
|
接液部材質(zhì)
|
PO 類型:SUS316L, Ni, PTFE, PFA MO 類型: SUS316L,Ni
|
標(biāo)準(zhǔn)接頭
|
1/16” , 1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型
|
1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型
|
1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型
|
*1: LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進(jìn)行了流量校正 (請(qǐng)預(yù)先指定所使用 的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會(huì)發(fā)生變化時(shí),請(qǐng)預(yù)先進(jìn)行咨詢協(xié)商。
?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對(duì)象液體中含有粒子等時(shí),請(qǐng)?jiān)谝淮味?入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2: LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程,可以適用到 最大值, 0.1Pa•s。有關(guān)高粘度的液體請(qǐng)預(yù)先進(jìn)行咨詢協(xié)商。
*3: 以SEMI E56-1296 為準(zhǔn)。
*4: 進(jìn)行測量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時(shí),使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在10℃以 內(nèi);如果高于液體溫度時(shí),使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在3℃以內(nèi)。
*5:這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。
|