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模擬金屬密封;
流量范圍:10 sccm-5 slm;
精度:≤±1% FS ;
最大進(jìn)氣壓力:140 psi(981 kPa)
美國(guó)Aera FC-7700系列質(zhì)量流量計(jì)
優(yōu)點(diǎn)：
高性價(jià)比
響應(yīng)速度快：小于2秒
無(wú)與倫比的可靠性：使用一年以上，零點(diǎn)漂移小于滿量程的0.5%
易于集成：標(biāo)準(zhǔn)接頭和尺寸
出眾的效果：高品質(zhì)膜層與蝕刻特性
特性
非金屬密封
VCR連接
量程范圍從10SCCM到150SLM
常閉或常開(kāi)式電磁閥
允許最大清洗流量：高達(dá)最大校準(zhǔn)值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)
FC-7700氣體質(zhì)量流量計(jì)的詳細(xì)資料：
Adcanced Energy 的Aera FC-7700系列產(chǎn)品是實(shí)踐驗(yàn)證的適用多種應(yīng)用的場(chǎng)合的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，該流量計(jì)采用非金屬密封，流量控制精確，性價(jià)比高。該產(chǎn)品專為從業(yè)于半導(dǎo)體、平板顯示、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、工業(yè)真空和工業(yè)鍍膜市場(chǎng)的工藝和設(shè)備工程師設(shè)計(jì)，同時(shí)，該系列產(chǎn)品在CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學(xué)玻璃鍍膜、光纖、表面處理以及其它鍍膜工藝等腐蝕性氣體應(yīng)用領(lǐng)域表現(xiàn)出良好的可靠性和優(yōu)異的性能。
性價(jià)比高：
FC-7700系列產(chǎn)品專為那些要求頂極性能，但不要求具有耐腐蝕性或高漏率要求的應(yīng)用而定制，不僅性價(jià)比好，而且控制精度非常高。
響應(yīng)速度快：
FC-7700系列產(chǎn)品采用最新技術(shù)設(shè)計(jì)，工作性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于同類(lèi)質(zhì)量流量控制器MFC.其先進(jìn)之處包括：采用了一種敏感性強(qiáng)、響應(yīng)速度快的小直徑傳感器。另外，與采用低速熱敏閥的同類(lèi)產(chǎn)品相比，F(xiàn)C-7700系列產(chǎn)品采用常開(kāi)或常閉式電磁閥，具有較快的響應(yīng)速度。提高響應(yīng)速度之后，避免了出現(xiàn)過(guò)沖，達(dá)到設(shè)定點(diǎn)的時(shí)間不到2秒－－在所有帶標(biāo)準(zhǔn)電磁閥的質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品中是最快的。
無(wú)與倫比的可靠性:
由高質(zhì)量的電子組件和采用耐用、少元器件的設(shè)計(jì)理念，這使它可以經(jīng)受強(qiáng)射頻場(chǎng)的干擾，滿足其它運(yùn)轉(zhuǎn)要求，并具有同類(lèi)產(chǎn)品中最佳的零點(diǎn)漂移穩(wěn)定性－－使用超過(guò)一年，零點(diǎn)漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上產(chǎn)品中，僅有不到0.5%的產(chǎn)品在出貨一年內(nèi)返修。
易于集成:
替換其它品牌，即可輕松獲得Area質(zhì)量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優(yōu)勢(shì)，且不會(huì)遇到安裝方面的麻煩。特定型號(hào)的產(chǎn)品帶有標(biāo)準(zhǔn)電氣接頭并具有臨界尺寸，可輕松裝入現(xiàn)有的系統(tǒng)。
出眾的效果：
FC-7700系列質(zhì)量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的一致性，同時(shí)還有高度的可重復(fù)性。
型號(hào)參數(shù)：
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類(lèi)別
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FC-7700、7700C、7700CD、7700CU
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FC-7710、7710C、7710CD、7710CU
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FC-7720、7720C、7720CD
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滿量程范圍
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10sccm到5slm
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6到20slm
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35到150slm
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20到50slm
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響應(yīng)時(shí)間
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到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<2秒
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到達(dá)設(shè)定點(diǎn)±2%所需時(shí)間<3秒
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精度
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滿量程±1%范圍內(nèi)
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滿量程±2%范圍內(nèi)
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線性度
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滿量程±0.5%范圍內(nèi)
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滿量程±0.5%范圍內(nèi)
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滿量程±1%范圍內(nèi)
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滿量程±1%范圍內(nèi)
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重復(fù)精度
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滿量程±0.2%范圍內(nèi)
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漏率
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最大值1×10-6 atm-cc/秒(氦)
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控制范圍
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滿量程的5到100%
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壓差
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7至40 psi
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10至40 psi(517至2069托)
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21至40 psi(1086至2069托)
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(362至2069托)
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14至40 psi(724至2069托)
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正常工作壓力
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50 psi(2586托)
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最大入口壓力
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最大值150 psi(7740托)
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溫度范圍
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5至45℃
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注：可根據(jù)不同客戶的需求，選擇全金屬密封的FC-7800CD系列，數(shù)字型的FC-D770系列，全金屬密封及數(shù)字型的FC-D980系列。
FC-7800_模擬金屬密封質(zhì)量流量控制器
模擬金屬密封; 流量范圍:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% FS ; 最大進(jìn)氣壓力:140 psi(981 kPa)
FC-D980_數(shù)字式金屬密封質(zhì)量流量控制器
數(shù)字式金屬密封; 流量范圍:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% of set point(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 最大工作壓力:70 psig(490 kPag)
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