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INFICON真空計(jì)壓力計(jì)

INFICON CDG025D電容膜片真空計(jì)

產(chǎn)品分類:INFICON真空計(jì)壓力計(jì)

產(chǎn)品介紹

     INFICON SKY CDG025D電容膜片真空計(jì)屬于高精度溫度補(bǔ)償型真空機(jī),在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能,數(shù)字電子學(xué)提高真空計(jì)的性能和易于使用的特點(diǎn),如一鍵調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整,抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有卓越的零點(diǎn)穩(wěn)定性與預(yù)期數(shù)百萬(wàn)次壓強(qiáng)周期包括大氣沖擊的長(zhǎng)使用壽命。傳感器屏敝保護(hù)真空計(jì)防止過(guò)程污染。堅(jiān)固耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)加強(qiáng)了EMC兼容性,長(zhǎng)期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償性。CDG025D真空計(jì)為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復(fù)等特性設(shè)定了新的標(biāo)準(zhǔn)。

 

優(yōu) 點(diǎn)             
    ◆   全刻度范圍從100毫乇…1000乇
    ◆   電源接通后的快速穩(wěn)定性
    ◆   暴露大氣壓后的快速恢復(fù)性
    ◆   抗腐蝕性陶瓷傳感監(jiān)測(cè)器
    ◆   卓越的長(zhǎng)期訊號(hào)穩(wěn)定性
    ◆   溫度補(bǔ)償
    ◆   保護(hù)傳感器防止污染
    ◆   一鍵調(diào)零功能
    ◆   寬范圍電源
    ◆   2個(gè)設(shè)點(diǎn)(選項(xiàng))
    ◆   RS232接口(選項(xiàng))
 
                
要求高的應(yīng)用條件下,精確而快速的壓強(qiáng)測(cè)量:
    ◆   用于刻蝕,CVD, PVD, ALD半導(dǎo)體制造設(shè)備
    ◆   資料貯存和顯示器制造設(shè)備
    ◆   工業(yè)真空設(shè)備
    ◆   常用高精度真空測(cè)量
 
        
CDG025D,溫度補(bǔ)償型
全刻度范圍                              法蘭型式
Torr
Pascal
Mbar
1/2”tube
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR
1000
133322
1333
375-000
375-001
375-002
375-003
100
13332
133
376-000
376-001
376-002
376-003
10
1333
13.3
377-000
377-001
377-002
377-003
1
13.3
0.13
378-000
378-001
378-002
378-003
0.1
13.3
0.13
379-000
379-001
379-002
379-003
 
CDG025D, 溫度補(bǔ)償型,帶2個(gè)設(shè)點(diǎn)和RS232接口
全刻度范圍                             法蘭型式
Torr
Pascal
Mbar
1/2”tube
DN 16 ISO-KF
DN 16 CF-R
8 VCR
1000
133322
1333
375-300
375-301
375-302
375-303
-
110000
1100
375-500
375-501
375-502
375-503
200
26664
267
382-300
382-301
-
-
100
13332
133
376-300
376-301
376-302
376-303
-
10000
100
376-500
376-501
376-502
376-503
20
2666
26.7
-
-
-
-
10
1333
13.3
377-300
377-301
377-302
377-303
-
1000
10
377-500
377-501
377-502
377-503
1
133
1.3
378-300
378-301
378-302
378-303
-
100
1
378-500
378-501
378-502
378-503
0.25
33.3
0.33
385-300
385-301
385-302
385-303
0.1
13.3
0.13
379-300
379-301
379-302
379-303
-
10
0.1
319-500
379-501
379-502
379-503

 

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