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HORIBA質量流量控制器

SEC-8000 高溫質量流量控制器

產品分類：HORIBA質量流量控制器
產品介紹

概要

質量流量計是用來測量或控制氣體流量的一種設備。流量一般分為體積流量和質量流量，但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響，如需精確測量，需不斷的改變測量條件來配合不斷改變的外界環(huán)境。而質量流量，是利用測量氣體的質量，而質量是不受外界的環(huán)境的影響，從而可以提供高精度流量檢測和控制，且在半導體制造制程有廣泛的使用。

特征

它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質量流量控制器。

  • 適用于高溫：可滿足150℃烘焙
  • 產品陣容中有可滿足使用溫度的產品型號
  • 超清潔類型：接氣部全不銹鋼構造
  • 最適于MOCVD用有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制

規(guī)格

 

SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：80?100℃

SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：100?120℃

SEC-8440LSL
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：15?35℃

SEC-8450LSL
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

10/20 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：15?35℃

SEC-8455LSL
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

30/50 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：15?35℃

SEC-8460LSL
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

50/100 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：15?35℃

SEC-8440LSM
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：35?60℃

SEC-8450LSM
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

10/20 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：35?60℃

SEC-8455LSM
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

30/50 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：35?60℃

SEC-8460LSM
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

50/100 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：35?60℃

SEC-8440LSH
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：60?80℃

SEC-8450LSH
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

10/20 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：60?80℃

SEC-8455LSH
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

30/50 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：60?80℃

SEC-8460LSH
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

50/100 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：60?80℃

SEC-8440SL
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：80?100℃

SEC-8450SL
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

3/5/10 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：80?100℃

SEC-8455SL
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

10/20 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：80?100℃

SEC-8460SL
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

20/30/50 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：80?100℃

SEC-8440SM
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：100?120℃

SEC-8450SM
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

3/5/10 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：100?120℃

SEC-8455SM
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

10/20 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：100?120℃

SEC-8460SM
 

氣體接觸部材質

SUS-316L

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

20/30/50 SLM

流量控制范圍

2?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±1.0％ F.S.(滿量程) 　使用溫度：100?120℃
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