INFICON PCG400和PCG410型復(fù)合皮拉尼與電容膜片技術(shù)用于從5X10-4至1500毫巴(3.8X10-4至1125乇)精確度和可重復(fù)的壓強(qiáng)測量。與對流增強(qiáng)型皮拉尼不同,PCG可任意方向安裝,便于靈活地添加探頭。
特點(diǎn):
■任意方向安裝
■放空快速響應(yīng),縮短周期時間
■快速與可靠的讀值,無需大氣壓調(diào)節(jié)
■單一對數(shù)/線性模擬輸出訊號
■易于工藝集成
■小型結(jié)構(gòu),節(jié)省有價(jià)值的工藝空間
應(yīng)用:
■自鎖
■前級壓強(qiáng)監(jiān)測
■真空系統(tǒng)中的安全電路
■在中真空和粗真空范圍內(nèi)一般測量與控制
■控制高真空電離真空計(jì)
CDG采用直接測量單位面積力的原理,避免了過程時間的延遲。這個精度與響應(yīng)時間的改進(jìn)消除了在抽空和放空過程中的過沖現(xiàn)象。PCG裝備有INFICON專利的皮拉尼技術(shù),在傳感器的整個測量范圍內(nèi)產(chǎn)生優(yōu)異的響應(yīng)時間特性,提高產(chǎn)量和生產(chǎn)率。
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