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5866E_模擬橡膠密封壓力式質(zhì)量流量控制器

模擬橡膠密封;

流量范圍:0-30000 sccm;

壓力范圍:7.25 psia -1450 psia FS(橡膠密封);

7.25 psia -72.5 psia FS(金屬密封);

精度:±0.5% FS