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HPG400高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)
INFICON公司生產(chǎn)的HPG400型高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)將高壓強(qiáng)熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個小型、
輕便與經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中，測量壓強(qiáng)從2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重復(fù)性
和再現(xiàn)性壓強(qiáng)測量，用于精確的濺射過程的壓強(qiáng)控制。
用 戶 優(yōu) 越 性
◆ HPG400節(jié)省成本和設(shè)備空間，降低真空測量的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
◆ 高壓強(qiáng)熱電離真空計(jì)1×10-5毫巴為要求高的過車工控制提供精確、可靠的壓強(qiáng)測量
◆ 用戶可選的熱電離發(fā)射在5×10-2至1毫巴之間起始工作
◆ 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱陰極防止它過早燒毀
◆ 高真空皮拉尼自動調(diào)整，減少操作人員的干預(yù)
◆ 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
典 型 應(yīng) 用
◆ 半導(dǎo)體制作中濺射工藝應(yīng)用，電子學(xué)的媒體工業(yè)
◆ 工業(yè)鍍膜
◆ 在低至超高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制
訂 購 資 料
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型號
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HPG400
Without LCD display
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HPG400
With LCD display
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HPG400-SP
With Profibus DP1）
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HPG400-SD
With DeviceNet1）
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DN 25ISO-KF
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353-520
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353-521
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353-525
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353-527
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DN 40CF-R
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353-522
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353-523
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353-526
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353-528
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更換傳感器25ISO-KF
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354-487
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354-487
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354-487
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354-487
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更換傳感器40CF-R
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354-488
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354-488
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354-488
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354-488
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1）不帶液晶顯示器
附 件
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電源24VDC/RS232C線
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353-511
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353-511
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353-511
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353-511
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